دستگاه لیتوگرافی Mask Aligner Photo-Etching Machine

مشخصات

1. ناحیه نوردهی: 110mm × 110mm.
2. ★ طول موج نوردهی: 365nm.
3. وضوح: ≤ 1m;
4. دقت تراز: 0.8 متر;
5. دامنه حرکت جدول اسکن سیستم تراز حداقل باید برآورده شود: Y: 10mm.
6. لوله های نور چپ و راست سیستم تراز می توانند به طور جداگانه در جهت X، y و Z حرکت کنند، جهت X: ± 5mm، جهت Y: ± 5mm و جهت Z: ± 5mm.
7. اندازه ماسک: 2.5 اینچ، 3 اینچ، 4 اینچ، 5 اینچ;
8. اندازه نمونه: قطعه، 2 "، 3"، 4 ";
9. مناسب برای ضخامت نمونه: 0.5-6 میلی متر، و می تواند قطعات نمونه 20 میلی متری را حداکثر (سفارشی) پشتیبانی کند.
10. حالت قرار گرفتن در معرض: زمان بندی (حالت شمارش معکوس).
11. عدم یکنواختی روشنایی: ＜ 2.5%;
12. میکروسکوپ تراز CCD میدان دوگانه: لنز زوم (1-5 برابر) + لنز شیئی میکروسکوپ.
13. حرکت حرکتی ماسک نسبت به نمونه باید حداقل برابر: X: 5mm; Y: 5 میلی متر؛ : 6 درجه
14. ★ چگالی انرژی نوردهی: > 30 مگاوات / سانتی متر مربع،
15. ★ موقعیت تراز و موقعیت نوردهی در دو ایستگاه کار می کند و سروو موتور دو ایستگاه به طور خودکار سوئیچ می شود.
16. تراز کردن فشار تماس، تکرارپذیری را از طریق سنسور تضمین می کند.
17. ★ شکاف تراز و شکاف نوردهی را می توان به صورت دیجیتالی تنظیم کرد.
18. ★ دارای رابط اثر نانو و رابط مجاورت است.
19. ★ عملیات صفحه نمایش لمسی.
20. ابعاد کلی: حدود 1400 میلی متر (طول) 900 میلی متر (عرض) 1500 میلی متر (ارتفاع).