دستگاه لیتوگرافی، دستگاه تنظیم ماسک، دستگاه حکاکی عکس

مشخصات

۱. مساحت نوردهی: ۱۱۰ میلی‌متر × ۱۱۰ میلی‌متر؛
۲. ★ طول موج نوردهی: ۳۶۵ نانومتر؛
۳. وضوح: ≤ ۱ متر؛
۴. دقت تراز: ۰.۸ متر؛
۵. محدوده حرکت میز اسکن سیستم ترازبندی باید حداقل با موارد زیر مطابقت داشته باشد: Y: 10 میلی‌متر؛
۶. لامپ‌های نوری چپ و راست سیستم تراز می‌توانند به طور جداگانه در جهت‌های X، y و Z حرکت کنند، جهت X: ± ۵ میلی‌متر، جهت Y: ± ۵ میلی‌متر و جهت Z: ± ۵ میلی‌متر؛
۷. اندازه ماسک: ۲.۵ اینچ، ۳ اینچ، ۴ اینچ، ۵ اینچ؛
۸. اندازه نمونه: قطعه، ۲ "، ۳"، ۴ "؛
۹. ★ مناسب برای ضخامت نمونه: ۰.۵-۶ میلی‌متر، و می‌تواند حداکثر از قطعات نمونه ۲۰ میلی‌متری (سفارشی) پشتیبانی کند.
۱۰. حالت نوردهی: زمان‌بندی (حالت شمارش معکوس)؛
۱۱. عدم یکنواختی روشنایی: <۲.۵٪؛
۱۲. میکروسکوپ تنظیم CCD میدان دوگانه: لنز زوم (۱-۵ برابر) + لنز شیئی میکروسکوپ؛
۱۳. حرکت ماسک نسبت به نمونه باید حداقل با موارد زیر مطابقت داشته باشد: X: ۵ میلی‌متر؛ Y: ۵ میلی‌متر؛ : ۶ درجه
۱۴. ★ چگالی انرژی تابشی: > 30MW/cm2
۱۵. ★ موقعیت تراز و موقعیت نوردهی در دو ایستگاه کار می‌کنند و سروو موتور دو ایستگاه به طور خودکار تغییر می‌کند.
۱۶. تراز کردن فشار تماسی، تکرارپذیری را از طریق حسگر تضمین می‌کند.
۱۷. ★ فاصله‌ی تراز و فاصله‌ی نوردهی را می‌توان به صورت دیجیتالی تنظیم کرد؛
۱۸. ★ دارای رابط نانو ایمپرینت و رابط مجاورتی است؛
۱۹. ★ عملکرد صفحه لمسی؛
۲۰. ابعاد کلی: حدود ۱۴۰۰ میلی‌متر (طول) ۹۰۰ میلی‌متر (عرض) ۱۵۰۰ میلی‌متر (ارتفاع).