دستگاه لیتوگرافی ماسک ماسک دستگاه عکس-اچ کردن

مشخصات

1. منطقه قرار گرفتن در معرض: 110 میلی متر × 110 میلی متر
2. طول موج قرار گرفتن در معرض: 365 نانومتر ؛
وضوح: 1 متر ≤ ؛
4. دقت تراز: 0.8m ؛
5. محدوده حرکت جدول اسکن سیستم تراز حداقل باید برآورده شود: Y: 10 میلی متر ؛
6. لوله های نوری چپ و راست سیستم تراز می توانند به طور جداگانه در جهت x ، y و z حرکت کنند ، جهت x: 5 میلی متر ، جهت y: 5 میلی متر و جهت z: 5 میلی متر ؛
7. اندازه ماسک: 2.5 اینچ ، 3 اینچ ، 4 اینچ ، 5 اینچ ؛
8. اندازه نمونه: قطعه ، 2 "، 3" ، 4 "؛
9. ★ مناسب برای ضخامت نمونه: 0.5-6 میلی متر ، و می تواند از قطعات نمونه 20 میلی متر حداکثر (سفارشی) پشتیبانی کند.
10. حالت قرار گرفتن در معرض: زمان بندی (حالت شمارش معکوس) ؛
11. غیر یکنواختی نورپردازی: 2.5 ＜ ؛
12. میکروسکوپ تراز CCD میدان دوگانه: لنز بزرگنمایی (1-5 بار) + لنزهای هدف میکروسکوپ ؛
13. سکته مغزی حرکت ماسک نسبت به نمونه حداقل باید برآورده شود: x: 5mm ؛ Y: 5mm ؛ : 6º
14. ★ چگالی انرژی قرار گرفتن در معرض:> 30MW / cm2 ،
15. position موقعیت تراز و موقعیت قرار گرفتن در معرض در دو ایستگاه کار می کند ، و دو سوئیچ موتور Servo Servo به طور خودکار.
16. تراز کردن فشار تماس ، تکرارپذیری را از طریق سنسور تضمین می کند.
17. - شکاف تراز و شکاف قرار گرفتن در معرض می تواند به صورت دیجیتالی تنظیم شود.
18. ★ دارای رابط کاربری نانو و رابط مجاورت است.
19. ★ عملکرد صفحه نمایش لمسی ؛
20. ابعاد کلی: حدود 1400 میلی متر (طول) 900 میلی متر (عرض) 1500 میلی متر (ارتفاع).